晶瑞股份:半导体级高纯硫酸产品金属杂质含量低于10ppt 品质已达全球同行业第一梯队水平

原创 PC4f5X  2021-06-06 04:32 

5月12日讯,晶瑞股份公告,截至目前,公司一期年产3万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目已完成项目备案、环境影响评价批复等程序。项目全部工程已建设完工,项目所需设备已购置并安装、调试完毕,运行稳定。经近期试生产调试,公司半导体级高纯硫酸产品金属杂质含量低于10ppt,达到G5级水平,品质已达全球同行业第一梯队水平,产品技术指标可以履盖目前全部先进集成电路技术节点的要求,符合公司预期。该项目的建成意义重大,意味着中国拥有了国际水平国内规模最大的半导体级电子硫酸基地,成体系地解决了我国集成电路用量最大的三种高纯试剂材料的国产替代。

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